|
реклама |
|
|
|
|
|
|
Экологические системы и приборы Аннотация к статье << Назад
АНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ ПАРАМЕТРОВ АТМОСФЕРНОГО ВОЗДУХА НА ЭФФЕКТИВНОСТЬ ФУНКЦИОНИРОВАНИЯ СИСТЕМЫ КОНДИЦИОНИРОВАНИЯ И ФИЛЬТРАЦИИ ВОЗДУХА ЧИСТЫХ ПОМЕЩЕНИЙ |
Х.У. Тхеин, Т. Пьо, А.Н. Захаров, В.А. Гаврилин
Уменьшение топологических размеров элементов изделий микроэлектроники предъявляет все более строгие требования к параметрам внутрипроизводственной среды в чистых помещениях, что достигается за счет эффективного функционирования системы кондиционирования и фильтрации воздуха. Исходя из этого, основная цель представленной работы – анализ рециркуляционной схемы (РЦК) системы кондиционирования и фильтрации воздуха (СКФВ) чистых помещений (ЧП) микроэлектроники. Параметры внутрипроизводственной среды ЧП зависят от эффективного функционирования СКФВ в ТПГ и ХПГ. В статье детально проанализирована схема многоступенчатой системы кондиционирования и фильтрации воздуха в ЧП. Проведен анализ влияния на СКФВ ЧП климатических параметров наружного воздуха Зеленоградской НПТГ. Построена математическая модель ЧП класса 5 ИСО в среде MATLAB и разработана его структурная схема, позволяющая поддерживать температуру воздуха на уровне 20±0,5 °С. Результаты компьютерного моделирования подтверждают работоспособность построенной схемы и ее пригодность для практического применения в ЧП микроэлектроники, при этом существует возможность корректировки исходных данных и устранения возможных недостатков путем модернизации схемы в соответствии с заданными условиями.
Ключевые слова: чистые помещения; эффективность СКФВ; система кондиционирования и фильтрации воздуха; рециркуляционная система; математическое моделирование.
Контактная информация: E-mail: theinhtutoo143@gmail.com
Стр. 03-13. |
|
|
|
Последние новости:
Выставки по автоматизации и электронике «ПТА-Урал 2018» и «Электроника-Урал 2018» состоятся в Екатеринбурге Открыта электронная регистрация на выставку Дефектоскопия / NDT St. Petersburg Открыта регистрация на 9-ю Международную научно-практическую конференцию «Строительство и ремонт скважин — 2018» ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2018: рост площади экспозиции на 19% и новые формы контент-программы Тематика и состав экспозиции РЭП на выставке "ChipEXPO - 2018" |