Экологические системы и приборы Аннотация к статье << Назад ОБЕСПЕЧЕНИЕ ТЕМПЕРАТУРНОВЛАЖНОСТНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК В ЧИСТЫХ ПОМЕЩЕНИЯХ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ Тхеин Хтут У, А.С. Рябышенков Система кондиционирования воздуха играет важную роль в поддержании внутрипроизводственных параметров (температуры, влажности и т.п.) в чистом помещении (ЧП) микроэлектроники. Цель работы – исследование процессов тепло-влажностных характеристик в ЧП. При выполнении работы решались задачи: анализ теории процессов тепло-, влагообмена в ЧП; выбор модели для симуляции воздушного потока в среде программы SOLIDWORKS. При следующих начальных и граничных условиях: геометрические размеры ЧП 5 ИСО (8×6×3) м, технологический процесс – литография, при значениях температуры воздуха (21,5; 22; 22,5) °С и его влажности (35; 40; 45) %, шесть единиц технологического оборудования и четыре оператора. Построена 3D-модель ЧП класса 5 ИСО в среде SOLIDWORKS и симулирована его структурная схема при указанных параметрах воздуха. Результаты компьютерного моделирования показывают реальное распределение температуры воздуха и его влажности в ЧП 5 ИСО. Ключевые слова: чистые помещения; класс чистоты ЧП; система кондиционирования воздуха; схема многозольной СКФВ; компьютерное моделирование. DOI: 10.25791/esip.06.2018.025 Контактная информация: E-mail: theinhtutoo143@gmail.com Стр. 28-37.