Экологические системы и приборы Аннотация к статье << Назад АНАЛИЗ СИСТЕМЫ КОНДИЦИОНИРОВАНИЯ И ФИЛЬТРАЦИИ ВОЗДУХА В ЧИСТЫХ ПОМЕЩЕНИЯХ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ Пьо Тху, А.С. Рябышенков Тенденция развития микроэлектроники непосредственно связана с уменьшением топологических размеров элементов ИЭТ. В связи с этим ужесточаются требования, предъявляемые к чистоте воздушной среды и, как следствие, возрастают требования к системе кондиционирования и фильтрации воздуха (СКФВ) чистых помещений (ЧП) с точки зрения эффективности очистки воздуха. Система кондиционирования и фильтрации воздуха чистых помещений микроэлектроники предназначена для поддержания в них заданного класса чистоты. Основная цель работы – анализ эффективности очистки воздуха в основных элементах СКФВ ЧП. Для повышения эффективности функционирования системы необходимо решить следующие задачи: провести анализ эффективности многоступенчатой системы фильтрации воздуха; определить концентрацию частиц и время восстановления в зависимости от кратности воздухообмена. Ключевые слова: чистые помещения; эффективность очистки; кондиционирование и фильтрация воздуха. DOI: 10.25791/esip.09.2018.162 Контактная информация: E-mail: p.thu53@gmail.com Стр. 22-28.